操作与传动系统(Manipulation)
MDC 操作系统提供先进的 XYZ 定位、负载锁(Load-lock)集成、接口校准(Port Alignment) 以及 真空腔内配件,非常适合在超高真空(UHV)环境下进行高精度样品操作。
这些系统兼具多功能性与耐用性,能够满足从紧凑型到重载型的真空传动需求。
产品类别
接口校准器(Port Aligners)
负载锁系统(Load-Lock Systems)
V-Plane XYZ 平台
真空腔内操作配件(In-Vacuum Accessories for Manipulation)
产品概述
MDC 的真空操作系统包含全面的 XYZ 平台、负载锁系统、接口校准器以及腔内配件,专为在超高真空环境中实现精确控制而设计。
其 V-Plane® 模块化平台 提供可扩展解决方案,支持单轴或多轴运动,包括紧凑型、标准型及重载型型号,可实现二维(2D)与三维(3D)样品定位。
配备 磁耦合样品传输装置 的负载锁系统可在不放空主腔体的情况下,将样品顺利引入高真空系统。
接口校准器(Port Aligner) 用于修正法兰连接间的轴向与角度偏差,确保系统精度与密封完整性。
而诸如 Cab-Fast® 样品夹持器 与 Mini-Scaffold™ 安装系统 等真空腔内配件,则进一步提升了系统的运动性能与功能集成度。
行业应用
MDC 操作系统广泛应用于:
半导体加工
表面分析
薄膜沉积
材料科学研究
无论是实现样品的精细定位、真空隔离传输,还是机械组件的高精度集成,这些解决方案都提供坚固且模块化的控制。
非常适用于需要在高真空环境下实现可重复、高精度运动的 UHV 研究实验室、研发机构 及 生产制造环境。

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