MDC 1-1/2″ 端口 InvisiFlow 角阀,MDC HV真空角阀311092/312092,MDC真空阀代理

1-1/2″ 端口 InvisiFlow 角阀
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缩略图 1

MDC Precision 的 InvisiFlow™ 角阀专为先进的真空镀膜工艺而设计。其集成加热系统（IHS）可对阀芯内部进行加热，从而最大限度地减少颗粒产生与污染。焊接波纹管被置于气流路径之外，使阀体免受颗粒物与腐蚀性气体的影响，从而延长使用寿命并减少停机时间。

放大的 1-1/2″（38.1 mm）端口与优化的腔体设计可在不增加阀体尺寸的前提下实现高导通流量。这使阀门在超高真空（UHV）环境中具备可靠性能、更高效率以及更低的污染风险。

行业应用

1-1/2″（38.1 mm）InvisiFlow™ 角阀广泛应用于对无颗粒、高导通率、兼容超高真空（UHV）的阀门解决方案有严格要求的行业。典型应用包括：

• 半导体制造

• 薄膜沉积与镀膜工艺

• 高真空研究实验室

• 表面科学与材料研究

• 光学镀膜与精密电子生产

凭借其快速操作、优异的循环寿命以及卓越的污染控制能力，该阀非常适用于关键的真空镀膜和加工环境。

规格

主要特性

• 集成加热系统（IHS）： 采用筒式加热器，可选配热电偶以实现精确温控。

• 高导通结构： 加大的 1-1/2″（38.1 mm）端口可降低流动阻力并提高通量。

• 隔离焊接波纹管： 位于气流通道外，延长维护周期与使用寿命。

• 耐用性强： 采用 304 不锈钢（可选 316 不锈钢），可承受 100 万次循环操作。

• 灵活配置： 兼容 ISO 法兰、CF 法兰或管式连接。

• 压力范围： 最低 1×10⁻⁹ Torr 至最高 14.7 psi（1 bar）。

• 温度等级：

  • 阀体：400°F（200°C）

  • 执行器：400°F（200°C）

  • 电磁阀：125°F（50°C）

• 快速动作： 开/关循环时间为 1 秒。

• 密封选项： 标准 FKM，可选 OFE 铜或 FFKM。

• 符合标准： 符合 ISO 3669，UHV 级别至 1×10⁻¹³ mbar，高温等级可达 450°C。

• 法兰选项： 可旋转或固定式，带螺纹孔或通孔设计。