MDC真空腔室

MDC真空腔室
探索MDC多功能的真空腔室系统,专为实验室和研究应用而设计。采用不锈钢钟罩、馈通法兰和底盘组件,为高真空和超高真空系统提供可靠性与适应性。


钟罩
馈通法兰
底盘与底盘组件
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真空腔室

MDC真空腔室专为研究实验室和表面科学应用设计,为高真空和超高真空环境提供了坚固耐用的模块化系统。该系统包括不锈钢钟罩、馈通法兰、底盘和底盘组件——每一部件均旨在实现无缝集成与卓越性能。

不锈钢钟罩
这些钟罩设计用于与MDC底盘、馈通法兰和底盘组件兼容。燕尾槽结构可固定FKM弹性体垫圈,形成可靠的真空密封。每个钟罩均包含一个4英寸(101.6毫米)的Pyrex®观察窗,并采用内部真空焊接工艺以确保UHV兼容性。为便于操作,还配有焊接吊环。可根据需要选择电抛光表面处理。

馈通法兰
馈通法兰用于扩展系统功能,提供径向配置的接入端口,可选4孔、8孔或18孔配置。端口可连接2-3/4英寸(69.9毫米)MDC Conflat™ CF或ISO KF NW40(40毫米)Kwik-Flange™接口,支持标准的MDC电气、流体或运动馈通组件。使用时需搭配兼容的MDC底盘。

底盘
这些底盘为真空系统提供基础支撑。提供12英寸(304.8毫米)、18英寸(457.2毫米)和24英寸(609.6毫米)直径腔室适用的型号。接口选项包括ANSI ASA弹性体密封型、MDC Conflat™ CF型及Large-Flange™ ISO LF型。底盘可直接安装在真空泵或闸阀上。

底盘组件
底盘组件将底盘和馈通法兰的功能集于一体,通过集成真空焊接接头减少了密封面数量。提供4孔、8孔或18孔接入端口,拥有与馈通法兰和底盘相同的法兰选项。密封垫圈需单独购买。