运动组件
在高真空和超高真空环境中，MDC的旋转、直线及复合运动馈通装置为您提供无与伦比的精度。这些运动解决方案专为可靠性设计，提供卓越的控制精度、耐用性及UHV兼容性。无论是精细的样品操作，还是苛刻的机械定位，MDC运动设备都树立了行业性能标杆。
复合运动
旋转运动
直线运动
运动组件
MDC运动馈通装置是为满足严苛的真空内部运动应用而设计的精密仪器。这些设备提供旋转、直线和复合运动等类别，可选配置包括标准型、高温型、气动型、微型、磁力驱动型和直驱型。
高真空型号配备Kwik-Flange™ ISO KF法兰，可实现快速拆装，并使用Viton®弹性体确保密封。超高真空型号则采用Conflat CF法兰，配备铜垫圈和刀口密封，以实现卓越的真空密封性和高温烘烤能力。
大多数型号均标配边缘焊接不锈钢波纹管，确保长久的使用寿命和严密的防漏性能。从轻型夹持工具到重型差动旋转驱动器，MDC的运动解决方案能够满足广泛的真空运动需求。
行业应用
MDC运动馈通装置服务于众多对真空密封性和运动精度要求极高的科学、工业及制造领域。常见应用包括半导体制造、表面分析、同步辐射装置、材料科学研究以及真空内部自动化系统。其可靠性和适应性使其成为洁净室环境、高能物理及航空航天研发的重要组成部分。
MDC旋转运动馈通装置专为实现高真空与超高真空环境中的精密、连续旋转而设计。这些真空兼容的精密仪器，是严苛的真空内部样品处理与定位应用的理想选择。
标准旋转型号配备以5°为增量刻度的360°激光蚀刻标尺，可实现精确定位。其焊接不锈钢波纹管采用离轴摆动设计，并配有旋转轴轴承支撑，确保长期卓越性能与耐久性。高温型号完全由304不锈钢制成，最高可承受100°C（212°F）的烘烤温度。
MDC还提供以下型号：
气动驱动旋转装置：可在30°至90°间调节，是真空内部挡板和双位置驱动的理想选择。
微型旋转馈通：紧凑设计适用于狭窄空间，支持最高达20盎司-英寸（0.14 N·m）的扭矩。
精密旋转仪器：高精度运动，分辨率达0.1°，背隙极小。
磁耦合旋转装置：无波纹管UHV旋转，支持最高达20盎司-英寸（0.14 N·m）的轻负载应用。
直驱旋转馈通：手动或电机驱动，速度最高达300转/分，采用预加载Viton®弹性体密封。
差分抽气直驱型号：在500转/分时可提供最高达100磅-英寸（11.3 N·m）的扭矩，通过1/8英寸（3.18毫米）管螺纹抽气口，兼容10⁻⁹托尔级的UHV环境。
所有型号均可选择Conflat® CF和Kwik-Flange™ ISO KF端口安装方式。
行业应用
MDC旋转运动馈通装置广泛应用于半导体加工、薄膜沉积、分析仪器、材料科学及表面物理等行业的各类高精度真空应用。其精确的旋转定位能力和真空兼容性，使其成为真空腔内样品操控、晶圆搬运、挡板控制及其他对运动要求苛刻的操作中不可或缺的组件。
标准旋转运动
高温标准旋转运动
气动旋转运动
微型旋转运动
精密旋转运动
磁力驱动旋转运动
直驱旋转运动
差分抽气直驱旋转运动
MDC直线运动馈通装置专为实现高真空与超高真空环境中的精密、可靠直线位移而设计。这些精密仪器广泛应用于样品定位及真空内部驱动等应用。
标准直线运动型号配备激光蚀刻的径向和直线标尺，刻度分别为0.001英寸（0.025毫米）和1毫米。驱动筒每旋转一整圈，可实现0.025英寸（0.635毫米）的行程。采用边缘焊接不锈钢波纹管、直线轴承支撑和40螺距导螺杆，确保了卓越的耐用性和长期性能。
高温直线运动装置完全由304不锈钢制成，适用于烘烤和高温工艺。紧凑型号每转提供1.25毫米行程，并采用细螺距导螺杆设计，是空间受限场合的理想选择。
推拉式驱动器可实现快速移动和便捷操作，配备0.025英寸（0.635毫米）激光蚀刻刻度线和可锁定驱动机构。齿条齿轮设计提供了更强的控制力，每1¼圈可产生1英寸（25.4毫米）的直线行程。对于自动化双位置运动，气动型号包含可调行程和快速响应驱动。重型选项适用于移动大型部件，采用再入式焊接波纹管结构。
行业应用
MDC的直线运动馈通装置是半导体加工、研究实验室、材料分析和薄膜沉积系统中的关键组件。这些驱动器为真空腔室内的样品操控、探针调节和阀门驱动提供高精度定位。其在手动、气动和重型应用中的多功能性，使其成为自动化真空系统、光学装置和真空内部机械处理的理想选择。
标准直线运动
高温标准直线运动
高温紧凑型直线运动
微型直线运动
推拉式直线运动
齿条齿轮直线运动
气动直线运动
重型直线运动
重型气动直线运动
重型推拉式直线运动
重型隧道进给直线运动
重型千分尺直线运动
MDC复合运动馈通装置是专为真空腔内多轴操控设计的先进真空兼容仪器。这些设备提供旋转、直线和摆动运动的组合，为需要多个自由度的操作提供了灵活的解决方案。
标准旋转-直线复合运动型号提供360°旋转和1.0英寸（25.4毫米）的直线行程，每个运动轴均通过独立的驱动旋钮控制。定位通过激光蚀刻标尺进行测量：旋转标尺以5°为增量，直线标尺结合了0.050英寸（1.27毫米）的直线增量与0.001英寸（0.025毫米）的精细旋转增量。直线驱动器每旋转一整圈，对应0.025英寸（0.635毫米）的行程。
精密旋转-直线复合运动仪器性能更优，具有超低背隙、0.1°旋转分辨率，以及0.500英寸（12.7毫米）千分尺级直线运动行程和0.001英寸（0.025毫米）分辨率。
MDC还提供摆动杆复合运动装置，集成了直线行程、角度倾斜、全角度旋转和机械夹持功能。功能最全面的型号支持：
360°旋转
4.50英寸（114.3毫米）推拉式直线行程
22°角度摆动
0.880英寸（22.35毫米）钳口夹持容量
这些设备是高真空或超高真空腔室中需要精确多轴运动的场合不可或缺的工具。
行业应用
MDC复合运动馈通装置是高级研究实验室、材料科学、真空检测系统、表面分析、同步辐射装置和半导体加工中的必备工具。其提供多轴控制的能力，使其成为样品定位、真空内部调整、组件操控和探针对准等对精度和多功能性要求极高的应用的理想选择。
标准旋转-直线复合运动
精密旋转-直线复合运动
直驱旋转-直线复合运动
摆动杆复合运动
摆动杆钳式复合运动
摆动杆旋转钳式复合运动
广角摆动杆复合运动
