美国MDC PRECISION E-GV-625M UHV真空闸阀
MDC PRECISION E-GV-625M 规格
重量(磅) | 2.00 |
紧固法 | 螺栓 |
边螺纹类型 | 度量的 |
物质的 | 304SS (1.4301 | UNS S30400) Stainless Steel |
螺栓孔数目 | 6 |
端口尺寸 | 5/8″ (0.625 inches) 15.875mm |
螺纹尺寸 | M4 |
真空系列 | 超高真空 |
MDC不锈钢真空闸阀非常适合高真空(HV)和超高真空(UHV)环境。可与气动和手动执行机构,MDC阀门提供的精度,纯度和性能要求的先进半导体,工业和研究应用。
MDC PRECISION闸阀标准功能
- 超高压和高压系列
- 带有圆形或矩形孔的通道
- 封印 ™ 英联邦
- 斜线:M4
- 手动的 驱动器
- 获得专利的 ® 和统一的 ™ 锁定机构
- 120VAC空气控制电磁管 阀门(圆形闸阀)
- 24VDC空气控制电磁阀(矩形闸阀)
- 铜金属 密封的
- 焊接风箱执行机构密封
- 车体内接头
- 内部和内部电抛光 外部表面
- 干膜润滑轴承
MDC PRECISION E-GV-625M UHV真空闸阀规格
材料
- 车身、车厢和门 300号编SS
- 斜线:M4
- 风箱 AM-350SS
- 气瓶 聚四氟乙烯涂层铝
- 螺栓 300系列SS,镀银
- Bonnet UHV / HV 氟橡胶弹性体(FKM/FPM)
- 门 含氟橡胶的氟弹性体(FKM/FPM)或可选卡雷兹
- 活塞 氟橡胶弹性体(FKM/FPM)
电动气动驱动器
- 气压 70至100psig
- 空气控制阀 410系列汉弗莱电磁阀 e
- 电磁线管功率 120VAC, 50/60Hz, 4W
- 电力损失 阀门关闭
- 位置指标 机械式、游标式可调、后轮式微开关,适合5a,120/240VAC
真空的
- 范围 1×10-11托尔
- 泄漏测试 2×10-10毫升/秒
温度范围 在真空情况下可在开放封闭位置上烤开,采用下列封口组合
系列的 | 打开 | 关闭 | 帽子 | 闸 | |
UHV | 2000 C | 1500 C | 铜 | 氟橡胶型氟弹性体(FKM/FPM) | |
UHV | 2500 C | 2000 C | 铜 | 卡雷斯 | |
HV | 1500 C | 1500 C | 氟橡胶型氟弹性体(FKM/FPM) | 氟橡胶型氟弹性体(FKM/FPM) |
其他资料
- 密封的 – 阀门将对任意方向的15psi差气压进行密封。
- 定位 – 阀门可以安装在垂直或水平方向.
- 密封性 – 每个阀门的测试使用氦质谱仪泄漏检测器校准的最低灵敏度为2×10-10标准。自动取款机。协调/秒
- 维持费 – 可通过阀盖法兰拆下载载机构和闸门机构,用于密封更换、清洗或改装,而无需将阀体从系统中移出。
- 手动驱动 – 驱动器是由非上升的顶线程为平稳和快速的操作。视觉开放位置指示器是标准的所有手动阀门.