美国MDC Precision 67200系列旋转线性标准多运动通道真空馈通件
MDC Precision该旋转-线性标准多运动通道允许精确、独立的360°旋转和1英寸(25.4毫米) 线性运动,使用两个单独的手动驱动旋钮。每个轴都配备了激光蚀刻的位置刻度——旋转刻度以5°增量标记,而线性执行器则具有组合刻度,带有0.025英寸(0.635毫米)线性和0.001英寸(0.0254毫米)旋转刻度。旋转拨盘的完整旋转提供0.025英寸(0.635毫米)的线性位移。为高性能环境而设计,该装置具有焊接波纹管结构 并且可以配备 Conflat® CF 法兰 用于 超高真空 (UHV) 或 Kwik-Flange™ KF 接口 用于 高真空 (HV) 系统。
MDC Precision 67200系列真空馈通件行业应用
理想用于样品操作、探针定位和目标对准在科学研究、半导体加工和束线系统中,这款旋转-线性通过装置在真空条件下提供可靠的多轴运动。无论是在超高真空 (UHV)还是高真空 (HV)环境中,其精度和耐用性使其成为实验室和工业应用中均可信赖的解决方案。
MDC馈通件型号 | 真空系列 | |
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型号 | 真空系列 | 法兰 |
672000 | 超高压 | 1-1/3 |
672002 | 超高压 | 2-3/4 |
672004 | 高压 | NW16 |
672006 | 高压 | NW40 |
MDC Precision 67200系列真空馈通件产品规格:
MDC Precision 67200系列真空馈通件主要特点:
- 360°旋转运动和1英寸(25.4毫米)线性行程
- 双手动执行器 用于独立运动控制
- 激光蚀刻刻度 用于准确的位置指示
- 旋转位置锁 确保角度对准安全
- 焊接波纹管密封 用于真空密封性
- 由UHV或HV兼容材料制成
- 可加热至100°C (212°F)
- 安装选项包括 Conflat® CF 和 Kwik-Flange™ KF 法兰