TMC-13厚度控制器 最多6个厚度监控器和快速SE软件
六个石英平衡通道
6.5英寸TFT触摸屏显示屏
直观的多语言界面
紧凑型设计
大多数活性真空计的两种输入
最多8个快门和I/0可重新编程
继电器输出
两个可重编程模拟输出,用于速率和厚度监测,分辨率为16位
通讯接口:RS232/485,以太网IP
行业标准6 MHz晶体
频率分辨率:
0.1赫兹(适用于TM 13),或0.01赫兹(用于TM 14)
Rapid SE和LabVIEW库
最多可操作两个多晶体传感器头(气动或步进电机)
19英寸机架安装或独立
- 像使用单晶体一样轻松地操作您的多晶体传感器头。
- 分别控制每个单晶。
一键材料更换
常用材料的收藏夹
一键更换单元
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