当需要可靠、连续的速率监测和控制以进行长时间涂层运行时,无需中断过程,则 MCVAC 多晶旋转传感器是必要的工具。
McVac 的 6 和 8 多晶传感器采用 McVac 晶体支架和行业标准的 .550 英寸直径晶体,就像我们的整个晶体传感器产品线一样。它们的设计使晶体“垂直”于法兰。为了精确定位活性晶体,我们的传感器可以离轴弯曲高达 30 度。它们可用于任何长度和任何样式的真空法兰。
产品特点:
- 6 晶体(部件号 6000-001)
- 8 晶体(零件号 8000-001)
- 紧凑的设计
- 快门选项的中间位置
- 可以耦合到真空法兰上,进行由内而外的安装,也可以构建为一体式连续装置
- 易于重新加载的晶体传感器本体
- 晶振故障时自动切换
- 兼容 UHV
- 位置位置存储器,用于定位和指定任何特定晶体
- PLC 电机控制器与大多数厚度监视器和控制器连接
- 使用 3/16 英寸直径的冷却管,具有良好的热稳定性