美国 McVac 高温薄膜传感器 920-001/920-006

美国 McVac 高温薄膜传感器 920-001–920-006

我们的高温薄膜传感器系列是在可旋转的 ConFlat 法兰上制造的。这些通常用于 UHV 和高温过程（高达 300 摄氏度）。我们还在 1 英寸底板螺栓上提供高温传感器，但是，温度极限较低（205 摄氏度），因为它们使用氟橡胶 O 形圈进行真空密封。我们的高温传感器经过精心设计，没有裸露的同轴电缆。我们将同轴电缆连接线真空密封在刚性 3/16 英寸外径不锈钢管内。这消除了电缆护套材料在烘烤或高温涂层过程中的脱气。这些传感器是按订单制造的，客户提供相关信息，例如传感器冷却管和同轴电缆连接管的特定长度和弯曲度。使用我们的快门/执行器的传感器的工作温度限制为 200 摄氏度，最高烘烤温度为 300 摄氏度。

美国 McVac 是一家专注于薄膜传感器技术的公司，其高温薄膜传感器（High-Temperature Quartz Crystal Sensors）在高温条件下的薄膜厚度和沉积速率监控方面表现出色。

1. 核心特点

• 高温稳定性：
  • 设计用于高达 400°C 甚至更高 的操作环境，适应高温薄膜沉积工艺（如 PVD 和 CVD）。
  • 特殊材料和工艺处理保证了传感器在极端温度下的可靠性和精度。
• 精确测量：
  • 采用石英晶体微量平衡技术（QCM），可以在纳米级范围内精确监控沉积厚度。
  • 提供实时数据反馈，适用于动态调整工艺参数。
• 抗腐蚀设计：
  • 使用耐化学腐蚀的材质（如镀铂或镀钼电极），适合腐蚀性气氛中的工作。
• 兼容性强：
  • 与多种沉积设备兼容，包括真空蒸发、溅射沉积和离子束沉积系统。
  • 可集成至现有薄膜沉积工艺中，提升生产精度。

2. 应用领域

• 半导体工业：
  • 高精度监控薄膜厚度，用于晶圆制造和晶体管工艺。
• 光学镀膜：
  • 在光学元件镀膜过程中，确保均匀的镀层厚度。
• 航空航天材料：
  • 精确监控耐高温涂层的沉积过程。
• 能源与新能源领域：
  • 适用于太阳能电池、燃料电池等薄膜制造过程。
• 材料科学与研究：
  • 支持复杂材料和高温环境下的表面涂层实验。

3. 产品设计

• 晶体频率：
  • 支持常见的 6 MHz 和 5 MHz 石英晶体，适配多种工艺需求。
• 结构设计：
  • 热稳定外壳和连接器，确保在高温下无信号衰减或干扰。
• 支持多传感器配置：
  • 提供多点测量功能，用于监测不同位置的薄膜沉积均匀性。

4. 优势

• 高温环境下的可靠性：
  • 卓越的稳定性和长寿命，减少了停机维护需求。
• 实时响应：
  • 高速数据采集和处理，适应现代化自动化生产线。
• 定制化能力：
  • McVac 可根据具体应用需求提供定制的传感器解决方案（如特殊温度范围、材质或尺寸）。

5. 技术规格