ConFlat法兰馈通器
超高真空兼容 · 模块化设计 · 支持深度定制
产品核心优势:
- 全系列CF法兰适配
- 覆盖CF16/CF35/CF63/CF100等标准尺寸(ISO 3669)
- 支持DN40-DN250多种法兰规格定制
- 自由组合配置
✓ 导管尺寸:Φ3mm-Φ50mm(可选无氧铜/316L不锈钢)
✓ 连接形式:
• 标准VCR金属密封接口
• 快拆KF法兰转换头
• 高温焊接式终端 - 快速交付保障
- 常规CF标准件:24小时发货(ULVAC兼容型号)
- 非标定制方案:5个工作日内完成(含氦质谱检漏报告)
技术指标:
▪ 极限真空:<5×10⁻¹¹ mbar(经200℃烘烤后)
▪ 温度耐受:
- 标准型:-270℃~450℃(铜垫圈密封)
- 高温型:-270℃~800℃(无氧铜刀口法兰)
典型应用:
▸ 同步辐射光源光束线站
▸ 聚变装置第一壁诊断系统
▸ 分子束外延(MBE)设备