6晶片 & 8晶片旋转式传感器
多晶片镀膜监控解决方案
当您的镀膜工艺需要长时间稳定运行，并确保速率监控不间断时，MCVAC多晶片旋转传感器是您的理想选择。
核心设计特点：
- 采用MCVAC标准晶片座，兼容行业通用0.55英寸（约14mm）直径晶片（与全系传感器产品一致）
- 晶片垂直法兰安装设计，并可调整30°偏轴角度，确保精准定位
- 支持任意长度定制，适配各类真空法兰
产品特性
✅ 6晶片型号（零件号：6000-001）
✅ 8晶片型号（零件号：8000-001）
✅ 紧凑型结构，节省安装空间
✅ 可选挡板中间位设计，增强工艺灵活性
✅ 两种安装方式：
- 可拆分式（适配内-外安装需求）
- 一体化整体结构（更高稳定性）
✅ 便捷晶片更换，维护效率高
✅ 晶片失效自动切换，保障镀膜连续性
✅ 超高真空（UHV）兼容
✅ 晶片位置记忆功能，精准追踪指定晶片状态
✅ PLC电机控制器，兼容主流镀膜监控系统
✅ 3/16英寸（约4.76mm）冷却管路，优化热稳定性
应用优势：
- 适用于长时间镀膜（如光学镀膜、半导体薄膜沉积等）
- 减少停机换片次数，提升生产效率
- 高兼容性设计，适配多种真空镀膜设备
