MCVAC高温晶体传感器

高温晶体传感器

MCVAC高温薄膜传感器系列采用可旋转ConFlat法兰制造,专为超高真空(UHV)及高温工艺(最高300°C)设计。我们亦可提供基于1英寸基板螺栓安装的高温传感器版本(采用Viton®密封圈,耐温上限为205°C)。

核心技术创新

  • 全封闭式同轴连接:采用3/16英寸(约4.76mm)外径不锈钢硬管真空密封同轴线缆,彻底杜绝烘烤或高温镀膜过程中电缆护套材料的放气现象
  • 定制化工程设计:根据客户提供的冷却管路/同轴连接管的具体长度及弯曲要求进行定制生产
  • 挡板执行器配置:配备快门执行器的传感器工作温度上限为200°C,最高烘烤温度300°C