由于端部的质量使设备弯曲或腔室端口对齐不准确,安装在真空腔法兰上的探头通常无法精确到达腔室内的指定点。 为了解决这个问题,我们提供McTilt系列精密型载物台可以安装在设备和腔室端口之间。
McTilt系列精密型载物台目前最好的两轴倾斜平台。从自润滑枢轴轴承到坚固的结构,一切都说明了我们的质量。McTilt系列精密型载物台带有2¾英寸汇流法兰,具有市场上任何类似万向节中最短的总高度(3.2英寸(81毫米)。所有万向节上的净内径(ID)最大化,以清除小控件并将其倾斜得更远。几乎任何尺寸的电动和超重型版本也可供选择。
McTilt系列精密型载物台有五种标准尺寸,也可以根据要求定制尺寸。标准法兰尺寸范围为2¾英寸(CF38)至10英寸(CF200)。所有版本均可完全烘烤至210°C。
Model: | ClearI.D. | OAL |
McTilt1000 | 7.80″ | 5.5″ |
McTilt 800 | 5.87″ | 4.75″ |
McTilt 600 | 4.0″ | 4.0″ |
McTilt 338 | 2.0″ | 4.0″ |
McTilt 200 | 1.5″ | 3.2″ |
具有4½英寸、6英寸、8英寸和10英寸汇流的McTilt系列精密型载物台使用焊接波纹管。这进一步降低了整体高度,并提供了最大的清晰ID,但不会增加成本。事实上,带有焊接波纹管的McTilts通常比其他制造商的成型波纹管成本更低。所有McTilt在两个轴上的总范围为20°(±10°)。
稳健的McTilt设计理念非常适合扩展到更大的尺寸, 万向节均使用14英寸(CF300)法兰,采用步进电机驱动,上部万向节包括120秒内30英寸(762毫米)的Z轴(垂直)行程,同时提升600磅(270公斤)的负载。
McTilt系列精密型载物台还包括分辨率为0.005°的编码器,可实现远程位置的角度精度。其他型号还包括XY平移,全步进电机驱动,也有编码器。