可更换坩埚式蒸发源
产品特性：
• 采用0.75cc容量坩埚（支持客户指定材料）
• 标准材质选项：
氧化铝
氮化硼
• 其他材质需求请联系工厂定制
• 集成式挡板设计
• 配备电源与热电偶馈通接口：标准C型热电偶
• 水冷式结构
• 法兰至尖端距离：
用户定制范围6-12英寸
产品特点：灵活易用
这款紧凑型电子束蒸发源是超高真空兼容的蒸发设备，可精确控制金属、部分半导体及绝缘体的沉积过程。其小巧的尺寸和2¾英寸（CF38）法兰安装方式，使其可适配几乎所有现有超高真空腔室。设备操作简便、维护方便，集成水冷系统、内置挡板装置及全套电气机械馈通接口。
多种蒸发模式选择
可通过电子轰击方式进行蒸发：
使用耐高温坩埚（多种材质可选）盛放蒸发材料
或直接蒸发固体棒材/线材
最大功率：1000 VDC @ 125 mA（125瓦）
蒸发材料置于可快速更换的灯丝组件中心，灯丝功率可无级调节：0-12伏特/0-12安培
操作便捷性
用户无需拆卸整个源体即可补充蒸发材料。配备线性驱动装置，通过调节蒸发材料与灯丝的相对位置实现电子束聚焦校准。控制单元前面板设有双显示表盘，实时监控灯丝电流和束流电压（具体操作详见随附用户手册）。
流量监测功能
在蒸发材料流中设置微型电极，可采集部分电离环境中的离子信号。经初始校准后，可快速重现已知沉积速率。
紧凑型设计
整体组件安装于标准2¾英寸CF法兰，可通过1½英寸管道内径。水冷接口、电源接口、热电偶和波纹管密封挡板均合理布局。灯丝模块可轻松拆卸，便于更换蒸发材料。麦卡利斯特技术服务公司的定制化制造通常不额外收费，法兰至尖端距离可在订货时指定。
技术规格：
灯丝电源：0-24V / 0-10A 可调
19英寸标准机架安装
偏置电源：0-1000V @ 125mA（含连接电缆）
工作电压：110/220VAC可选
产品特点：灵活易用
这款紧凑型电子束蒸发源是专为超高真空环境设计的沉积设备，可精确控制金属、半导体及绝缘体的蒸发过程。采用2¾英寸（CF38）法兰安装方式，兼容绝大多数现有超高真空系统。设备集成了水冷系统、内置挡板装置及全套电学机械馈通接口，操作维护便捷。
多种蒸发模式选择
支持两种蒸发方式：
• 耐高温坩埚蒸发（提供多种坩埚材质选项）
• 固体棒材/线材直接蒸发
最大功率：1000VDC @ 125mA（125瓦）
蒸发材料置于可快速更换的灯丝组件中心，灯丝功率支持0-12V/0-12A无级调节
智能操作功能
• 无需拆卸源体即可补充蒸发材料
• 配备线性驱动装置，通过精密调节蒸发材料与灯丝的相对位置实现电子束聚焦
• 控制单元前面板配备双显示表盘，实时监控灯丝电流和束流电压
（详细操作指南请参阅随附用户手册）
流量监测系统
采用独特电离探测技术：在蒸发材料流中设置微型电极，采集部分电离环境中的离子信号。经初始校准后，可快速重现预设沉积速率。
紧凑型结构设计
• 整体采用标准2¾英寸CF法兰安装
• 可通过1½英寸管道内径
• 优化布局的水冷接口、电源接口、热电偶和波纹管密封挡板
• 模块化灯丝组件支持快速更换蒸发材料
• 支持定制服务：法兰至尖端距离可根据需求定制（麦卡利斯特技术服务公司提供标准价定制）
