MCALLISTER MB20系列多轴超高真空运动平台标准特性与优势:
1. 上法兰倾斜调节功能- 配备±2°角度调节范围
2. 灵活安装设计- X轴千分尺可自由选择安装在机械手的左侧或右侧
3. 波纹管系统- MB2000系列配备4.0英寸(101毫米)内径波纹管(支持圆形运动轨迹)
4. 结构设计
– 采用紧凑坚固的全Z轴框架结构
– 为超过36英寸(900毫米)的长行程提供卓越刚性支撑
– 配备可调式交叉滚柱轴承增强整体稳定性
5. 运动性能
– XY轴行程可选:
• ±0.5英寸(12.5毫米)
• ±1.0英寸(25毫米)圆形运动轨迹
– 标准X/Y/Z轴分辨率优于0.0005英寸(12.5微米)
– 可选配高精度大型千分尺系统
• 重复定位精度优于0.00005英寸(1.25微米)
6. 便捷升级- 支持现场15分钟内快速转换为步进电机驱动系统
7. 法兰配置
– 标准配置带螺纹上法兰(可根据需求提供无螺纹版本)
– 标准基座法兰:
• 6.0英寸(150毫米)Conflat真空法兰
– 可选基座法兰:
• 8英寸/10英寸或更大尺寸Conflat法兰
8. 行程范围
– Z轴标准行程:4-36英寸(100-900毫米)
– 更长行程需求请咨询皕赫
(注:Conflat为超高真空法兰国际标准,确保真空密封性能)
MCALLISTER MB20系列多轴超高真空运动平台