Mcallister 探针台用于在测试样品的不同位置定位用于无损电气测试的分析或测试探针的各种设备。 可用于半导体、材料科学、物理学、光学和MEMS的各种不同尺寸和类型。所有这些都是专门为最终用户的独特访问、范围、温度和测试要求量身定制的。Mcallister 探针台旨在展示MTS定制设计和制造车间的各种可能性。
Mcallister 探针台适用不同样品尺寸：
小样本量–<1英寸（<25毫米）
该站基于约2.75英寸（CF40）法兰，具有以下特点：
带隔热罩的加热反应堆容器
等温反应器体积
单独的样品加热器
减少化学反应实验的细胞体积
高精度微操作器<0.0005英寸（<12µ）
光学显微镜全尺寸观察区
紧密耦合涡轮泵的紧凑设计
具有坚固的仪器支架和盖子
中等样本尺寸–2英寸（50毫米）
该站基于约8英寸（CF150）法兰，具有以下特点：
双壁水冷夹套
最多6个探头操纵器
从特高压到环境运行
在1个大气压下加热至>900℃。氧气
大观察区域，便于显微镜观察
防止辐射损失的百叶窗
隔振表
高精度微操作器<0.0001英寸（<2µ）
电动舞台可用
LHe可冷却至<18K
用于仪表、入口等的额外端口。
大样本量–6英寸（150毫米）
所示为盖子已拆下
完全访问整个晶圆表面
±3英寸（±765毫米）XY行程
0.5英寸（12.5毫米）Z轴行程
计算机运动控制
冷却至-40℃
48个仪器馈通
1000X三目显微镜（未显示）
集成多电路探针卡安装
单个真空兼容扫描探头
真空度达到10-6torr
附加仪器端口
高精度定位器<0.0001〃（<2µ）
Mcallister 探针台
