1英寸样品尺寸探针台
产品概览
“探针台”涵盖多种用于无损电气测试的定位装置，通过精确定位分析探针或测试探针，实现对样品不同部位的检测。以下示例展示了适用于半导体、材料科学、物理学、光学和MEMS等领域的不同尺寸和类型的探针台。所有产品均根据终端用户的特殊访问需求、测试范围、温度环境和测试要求进行定制化设计。这些产品展示了麦卡利斯特技术服务公司定制设计与制造能力的多样性，所列型号仅为部分示例。欢迎联系我们讨论您的特定需求。
小样品尺寸型——＜1英寸（＜25毫米）
基于2.75英寸（CF40）法兰设计，本探针台具有以下特点：
核心特性：
• 配备带绝缘罩的加热反应腔室
• 等温反应空间设计
• 独立样品加热系统
• 专为化学反应实验优化的缩减腔体容积
• 高精度微操纵器：定位精度＜0.0005英寸（＜12微米）
• 提供光学显微镜所需的全尺寸观察区域
• 紧凑型设计，支持近耦合涡轮分子泵安装
• 配备坚固仪器支架及防护罩
产品概览
“探针台”涵盖多种用于无损电气测试的定位装置，通过精确定位分析探针或测试探针，实现对样品不同部位的检测。以下示例展示了适用于半导体、材料科学、物理学、光学和MEMS等领域的不同尺寸和类型的探针台。所有产品均根据终端用户的特殊访问需求、测试范围、温度环境和测试要求进行定制化设计。这些产品展示了麦卡利斯特技术服务公司定制设计与制造能力的多样性，所列型号仅为部分示例。欢迎联系我们讨论您的特定需求。
中等样品尺寸型——2英寸（50毫米）
基于8英寸（CF150）法兰设计，本探针台具有以下特点：
核心特性：
• 双壁水冷套设计
• 最多可配置6组探针操纵器
• 工作范围：从超高真空（UHV）到常压环境
• 在1个大气压氧气环境中可实现＞900℃高温加热
• 超大观察区域，便于显微镜访问
• 配备防辐射损失挡板系统
• 集成振动隔离台
• 高精度微操纵器：定位精度＜0.0001英寸（＜2微米）
• 可选配电动位移台
• 液氦冷却选项：最低温度＜18K
• 多个附加接口：用于安装测量仪表、进气装置等
产品概览
“探针台”涵盖多种用于无损电气测试的定位装置，通过精确定位分析探针或测试探针，实现对样品不同部位的检测。以下示例展示了适用于半导体、材料科学、物理学、光学和MEMS等领域的不同尺寸和类型的探针台。所有产品均根据终端用户的特殊访问需求、测试范围、温度环境和测试要求进行定制化设计。这些产品展示了麦卡利斯特技术服务公司定制设计与制造能力的多样性，所列型号仅为部分示例。欢迎联系我们讨论您的特定需求。
大样品尺寸型——6英寸（150毫米）
（图示为移除防护罩状态）
核心特性：
• 晶圆表面全域无障碍访问
• XY方向行程：±3英寸（±76.2毫米）
• Z方向行程：0.5英寸（12.7毫米）
• 计算机化运动控制系统
• 低温冷却能力：-40℃
• 48组仪器馈通接口
• 1000倍三目显微镜（图中未显示）
• 集成多电路探针卡安装系统
• 独立真空兼容扫描探针
• 真空度：10⁻⁶托
• 附加仪器端口
• 高精度定位器：＜0.0001英寸（＜2.5微米）
