双向样品传递装置
产品概述
本双向样品传递装置可实现超过54英寸（1370毫米）的横向行程，用于在不同分析站之间进行样品传递。
核心结构
装置中心采用10英寸（CF200）Conflat法兰，配备4英寸（100毫米）内径观察窗和两个旋转馈通机构：
第一个馈通驱动齿轮齿条系统，控制导轨段双向运动
→ 可向实验室中央真空管线侧延伸
→ 可向处理腔室侧延伸第二个馈通连接不锈钢缆绳机构
→ 驱动滑块在导轨上往复运动
→ 搭载4工位样品架/探针轮盘
功能特点
• 导轨伸缩可实现腔室隔离：
从处理腔室撤回时可关闭闸板阀
从中央真空管线撤回时可允许主滑块通过
• 4工位轮盘可同时承载样品或探针
• 全不锈钢结构确保真空兼容性
