电子束电子
- 0-24V
- 0-10A 灯丝电源
- 19 英寸机架式
- 0-1000V @ 125 mA 偏置，包括电缆
- 指定 110 或 220 VAC
灵活易用
这种紧凑的电子束蒸发器是一种与 UHV 兼容的离子源，用于金属、某些半导体和绝缘体的受控沉积。由于其体积小和 23/4 英寸 （CF38） 法兰安装，它几乎适合任何现有的 UHV 暗室。它易于使用和维护，包括水冷、一体式百叶窗、所有电气和机械馈入装置
坩埚或实心棒
通过对包含蒸发剂的耐火坩埚（各种材料可用）或高达 1000 VDC @ 125 mA（125 瓦）的实心棒/线进行电子轰击来刺激蒸发。待蒸发的材料以易于更换的细丝为中心，该细丝在 0-12 安培时具有 0-12 伏特的无级可调功率。
用户可以在不拆卸整个源的情况下补充蒸发的材料。包括一个线性驱动器，它相对于灯丝移动蒸发剂，为电子束提供焦点调整。控制单元前面板上的双表通过双表显示灯丝电流和光束电流/电压。有关更多信息，请参阅随附的用户手册。
Flux Monitor
蒸发材料通量中的小电极收集部分电离环境中存在的离子。初始校准后，此功能可快速轻松地恢复到已知的沉积速率。
紧凑的尺寸
整个组件安装在标准的 23/4“ CF 法兰上，并将清除 11/2” 管的内径。水 I/O 连接、电源、热电偶和波纹管密封百叶窗都位于方便的位置。细丝块可以很容易地移除，以更换/更换蒸发材料。由于定制制造的成本通常不超过麦卡利斯特技术服务的标准产品，因此可以在订购时指定法兰到尖端的距离。
