探针台
术语“探针台”涵盖了用于将分析探针或测试探针放置在测试样品上不同位置进行无损电气测试的各种设备。此处的示例显示了可用于半导体、材料科学、物理学、光学和 MEMS 的各种不同尺寸和类型。所有产品都是专门为最终用户的独特访问、范围、温度和测试要求量身定制的。这些旨在展示 MTS 定制设计和制造车间的可能性范围，该列表几乎并不详尽。请联系我们讨论您的特殊需求。
大样品尺寸 – 6 英寸（150 毫米）
- 所示 盖板已拆下
- 完全访问整个晶圆表面
- ±3 英寸（±765 毫米）XY 行程
- 0.5 英寸（12.5 毫米）Z 轴行程
- 计算机化运动控制
- 冷却至 -40C
- 48 个仪表馈通
- 1000X 三目显微镜（未显示）
- 集成多电路探针卡安装
- 单独的真空兼容扫描探头
- 真空度可达 10-6 torr
- 其他仪表端口
- 高精度定位器 <0.0001“ （<2μ）
