探针台
术语“探针台”涵盖了用于将分析探针或测试探针放置在测试样品上不同位置进行无损电气测试的各种设备。此处的示例显示了可用于半导体、材料科学、物理学、光学和 MEMS 的各种不同尺寸和类型。所有产品都是专门为最终用户的独特访问、范围、温度和测试要求量身定制的。这些旨在展示 MTS 定制设计和制造车间的可能性范围，该列表几乎并不详尽。请联系我们讨论您的特殊需求。
中等样品量 – 2 英寸（50 毫米）
该站基于 8 英寸 （CF150） 法兰，具有：
- 双壁水冷夹套
- 多达 6 个探针纵器
- 从 UHV 到环境温度运行
- 在 1 个大气压中加热至 >900C。 O2
- 大观察区域，便于显微镜访问
- 防止辐射损失的百叶窗
- 隔振台
- 高精度显微作器 <0.0001“ （<2μ）
- 提供电动载物台
- LHe 冷却可用于 <18K
- 用于仪表、入口等的附加端口
