MASTERBOND,UV15,用于电光波导

MASTERBOND,UV15,用于电光波导

Master Bond UV15已被选用用于制造多种应用的聚合物光学波导。在墨尔本皇家理工大学进行的研究项目中,UV15被用于光学聚合物平板波导的上、下包层。1 在德克萨斯大学奥斯汀分校进行的研究中,UV15形成了设计用于光调制器的波导的下包层。2 荷兰特文特大学的研究人员使用UV15作为核心层制造了多模聚合物波导。3

这三个研究中的波导均采用旋涂技术沉积包层和核心层,光刻技术进行波导图案制作,反应离子刻蚀(RIE)将波导图案转移到核心层。在每项研究中,选择了不同组合的材料(如UV15和一个或两个其他聚合物材料)作为核心层和两个包层,并且根据具体的设计和性能目标调整了制造工艺。

满足波导设计标准
UV15非常适合许多聚合物光学波导设计。它在633 nm波长处的折射率为1.48,并且能够良好地粘附硅,硅通常用作波导制造的基底。单组分的UV15易于旋涂,形成平滑均匀的膜层,厚度在波导中使用的范围内(大约5到100 μm)。由于UV15可以耐受光刻中使用的溶剂,因此可以进行图案化和刻蚀,形成带状波导通道。

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Master Bond UV15已成功用于制造低损耗的电光聚合物波导。通过精确控制旋涂、固化、光刻和刻蚀过程,可以优化UV15及其他用于波导设计的材料的性能,以实现特定的设计目标。由此制造的聚合物波导成本相对较低,并可用于实现各种电光器件。

  • Simon, Darren. 《用于电光应用的聚合物薄膜的化学和形态学》. 博士论文, 澳大利亚皇家墨尔本理工大学, 2006.
  • Zhou, Qingjun. 《基于聚合物Y形馈送定向耦合器的电光调制器》. 博士论文, 德克萨斯大学奥斯汀分校, 2004.
  • Musa, S., 等. 《制造用于局域网和光互连的聚合物多模波导》. 《IEEE/LEOS Benelux分会论文集》, 2000, pp.
MASTERBOND,UV15,用于电光波导
MASTERBOND,UV15,用于电光波导

 


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