独立式边缘处理晶圆预对准仪
LPA68EH-3
用于两种晶圆尺寸的减少接触式边缘处理预对准仪，边缘接触区域小于1毫米
对准能力： 标准150毫米和200毫米晶圆
透明及半透明基板
主体型号： LP458
接口入口： 侧面（可选底部）
规格参数
| 晶圆直径 | 150毫米, 200毫米 |
|---|---|
| 晶圆不透明度 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板 | 不适用 |
| 晶圆处理方式 | 边缘处理 |
| 定心精度 (3 Sigma) | 预对准仪吸盘上 ±35微米 |
| 角度精度 (3 Sigma) | 预对准仪吸盘上 ±0.07° |
| 10000 CPR编码器 | 预对准仪吸盘上 ±0.04° |
| 24000 CPR编码器 |
| 电机轴 | 三轴 |
|---|---|
| 主机通信 | RS232, 以太网 |
| 最大晶圆初始偏移 | 6毫米 |
| 本体尺寸 (宽 x 长 x 高) | 173毫米 x 267毫米 x 190毫米 |
| 占地面积兼容性 | LP426-3, LP458-3, LP438-3 LP44EH-3, LP46EH-3, LP48EH-3 |
| 重量 | 5.30公斤 |
| 所需设施 | 100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, 或 24VDC/2A |
| 扁平/凹槽兼容性 | 符合SEMI标准 |
| 洁净度 | 1级 |
| 平均无故障时间 | 超过70000小时 |
注意：所有规格值均基于标准扁平硅晶圆估算
