Logosol 久经考验的技术和高标准的可靠性是业内最广泛的预对准器系列的基础。预对准器产品系列支持处理 45 毫米至 480 毫米的物体，具有从不透明到完全透明的任何透明度级别。Logosol 独特的一体化设计和多功能控制软件可实现直接兼容性并与各种半导体平台进行接口。

LPA 系列

• 创新、高性能，兼容 Class 1 洁净环境

• 独特的一体化设计，在保持直接兼容性的同时，无需外部控制器和互联电缆

• 扫描电子系统、运动控制器和电源均集成于行业标准尺寸内

• 采用超低惯量无刷电机驱动，响应迅速平稳

• 先进扫描电子系统能够检测透明、半透明及不透明物体，无需针对不同尺寸进行机械重定位

• 与晶圆传输机器人无缝对接，支持45mm至480mm的所有晶圆尺寸及相应尺寸的方形基板

• Logosol 控制软件配备完整指令集，可兼容并接入多种半导体平台

• 快速对准周期有助于实现系统最大吞吐量

• 提供独立式设备，也可作为嵌入式设备与晶圆传输机器人协同工作

• 固定方式包括真空吸附、非真空吸附及边缘夹持