LPA58-1E
创新型高性能一体化设计，无需外部控制器和互连电缆，同时保持即插即用兼容性
采用超低惯量无刷电机驱动，响应迅速平稳
先进的扫描电子器件，能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位
运动控制软件配备一套全面的常用命令，可与各种半导体平台兼容和接口
典型对准周期时间少于四秒，有助于实现最大系统吞吐量
LPA58-1E 规格参数
| 参数项目 | 规格 |
|---|---|
| 晶圆直径 | 125mm, 150mm, 200mm |
| 晶圆不透明度 | 透明, 半透明, 不透明 |
| 方形基板 | 适用 |
| 晶圆处理方式 | 真空吸盘 |
| 定心精度 | 预对准器吸盘上 ±50µm |
| 角度精度 (3 Sigma) | 10000 CPR 编码器: 预对准器吸盘上 ±0.06° |
| 24000 CPR 编码器: 预对准器吸盘上 ±0.04° | |
| 伺服轴数 | 单轴 |
| 主机通信 | RS232, 以太网 |
| 最大初始晶圆偏移量 | 10mm |
| 本体尺寸 (宽 x 长 x 高) | 95mm x 266mm x 191mm |
| 安装兼容性 | LPA25-1E, LPA38-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E |
| 重量 | 3.50kg |
| 所需设施 | 100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, 或 24VDC/2A；真空 12″ Hg |
| 平边/缺口兼容性 | 符合 SEMI 标准 |
| 洁净度 | 1级 |
| 平均无故障时间 | 超过 70000 小时 |
