LPA312-3 晶圆预对准器
采用创新高性能一体化设计，在保持直接兼容性的同时，无需外部控制器与互联电缆
由超低惯量无刷电机驱动，实现平稳流畅的瞬时响应
先进扫描电子系统能够检测透明、半透明及不透明物体，无需因晶圆尺寸差异进行机械重定位
运动控制软件配备全套常用指令集，可兼容并接入各类半导体平台
典型对准周期少于4秒，助力实现系统最大吞吐量
LPA312-3 技术规格
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 晶圆直径 | 3英寸、100mm、125mm、150mm、200mm、300mm |
| 晶圆透光度 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板 | 支持 |
| 晶圆处理方式 | 真空吸盘与顶针 |
| 定心精度 | 预对准器吸盘上±25μm |
| 角度精度 (3σ) | 预对准器吸盘上±0.04° |
| 高精度模式 | 预对准器吸盘上±0.02° |
| 伺服轴数 | 三轴 |
| 主机通信 | RS232、以太网 |
| 最大初始晶圆偏移量 | 12mm |
| 本体尺寸 (宽×长×高) | 173mm × 317mm × 190mm |
| 安装兼容性 | LP4812-3、LPA1218-3、LP48ET-3、LPA12ET-3 |
| 设备重量 | 5.50kg |
| 所需设施 | 100-240VAC，50/60Hz，48VA，或24VDC/2A，真空度12英寸汞柱 |
| 平边/缺口兼容性 | 符合SEMI标准 |
| 洁净等级 | Class 1 |
| 平均无故障时间 | 大于70000小时 |
