LPA812-1E嵌入式晶圆预对准器、Logosol晶圆预对准仪
晶圆预对准器技术规格表
核心参数
| 参数名称 | 技术规格 |
|---|---|
| 晶圆直径 | 200mm、300mm |
| 晶圆透明度 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板支持 | 支持 |
| 晶圆处理方式 | 真空吸盘 |
精度指标
| 参数名称 | 技术规格 |
|---|---|
| 对中精度 | 预对准吸盘上±50μm |
| 角度精度(3σ) | 预对准吸盘上±0.06° |
| 10000 CPR编码器精度 | 预对准吸盘上±0.04° |
| 24000 CPR编码器精度 | – |
系统配置
| 参数名称 | 技术规格 |
|---|---|
| 伺服轴数量 | 单轴 |
| 通信接口 | RS232、以太网 |
| 最大初始偏移 | 10mm |
| 机身尺寸(W×L×H) | 95mm×266mm×191mm |
兼容性与认证
| 参数名称 | 技术规格 |
|---|---|
| 兼容设备型号 | LPA25-1E、LPA38-1E、LPA58-1E、LPA312-1E、LPA1218-1E |
| 重量 | 3.50kg |
| 电源要求 | 100-240VAC(50/60Hz,48VA)或24VDC/2A，真空12英寸汞柱 |
| 平面/凹槽标准 | 符合SEMI标准 |
| 洁净度等级 | Class 1 |
| 平均无故障时间 | >70,000小时 |
