创新、高性能的一体化设计，在保持即插即用兼容性的同时，省去了外部控制器和互联线缆采用超低惯量无刷电机驱动，响应迅捷流畅先进扫描电子系统可检测透明、半透明及不透明物体，无需因晶圆尺寸差异进行机械重定位运动控制软件配备全套常用指令集，兼容多种半导体平台并实现无缝对接典型对准周期小于四秒，助力实现系统最大吞吐量
晶圆尺寸 2英寸、3英寸、100毫米、125毫米、150毫米
晶圆类型 透明、半透明、不透明晶圆
适用基材 方形基板兼容
晶圆处理 真空吸盘与顶针系统
对中精度 预对准器吸盘上±25微米
角度精度
（3σ标准）
10000线编码器 预对准器吸盘上±0.04°
24000线编码器 预对准器吸盘上±0.02°
伺服轴数 3轴
主机通信 RS232、以太网
最大初始偏移 10毫米（2英寸晶圆为6毫米）
机身尺寸（宽×长×高） 173毫米×267毫米×190毫米
设备兼容性 LPA38-3、LPA58-3
LPA4EH-3、LPA5EH-3、LPA6EH-3、LPA8EH-3
整机重量 5.00千克
电源要求 100-240伏交流电，50/60赫兹，48伏安
或24伏直流电/2安培
真空要求 12英寸汞柱
平边/缺口标准 符合SEMI标准
洁净等级 1级
平均无故障时间 超过70,000小时
