Logosol LPA8EH-3晶圆预对准器-减少接触边缘处理

减少接触边缘处理200mm晶圆的预对准器
对齐能力：标准200mm晶圆，200mm平面，透明和
半透明基板
接触区：边缘接触，斑点宽度为1mm
减少接触边缘处理预对准器可容忍更大的初始偏移
交付的晶圆（最大6mm）