Logosol LPA6EH-3晶圆预对准器
减少接触边缘处理150mm晶圆的预对准器
协调能力：
标准150mm晶圆150mm平面、透明和半透明基板
接触区：边缘接触，斑点宽度为1mm
减少接触边缘处理预对准器可容忍交付晶圆的较大初始偏移（高达6mm）
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减少接触边缘处理预对准器可容忍交付晶圆的较大初始偏移（高达6mm）