Logosol LPA58-1E嵌入式晶圆预对准器

Logosol LPA58-1E嵌入式晶圆预对准器

创新的高性能一体式设计消除了外部控制器和互连电缆，同时保持了插入式兼容性
由超低惯性无刷电机驱动，实现平稳、即时的响应
先进的扫描电子设备能够检测透明，半透明和不透明物体，无机械
在不同晶圆尺寸之间重新定位
运动控制软件具有一套全面的常用命令，可与各种半导体平台兼容和接口
典型的对齐周期时间小于四秒，有助于实现最大系统吞吐量