Logosol LPA38-3独立式晶圆预对准器

Logosol LPA38-3独立式晶圆预对准器

创新的高性能一体式设计消除了外部控制器和互连电缆，同时保持了插入式兼容性
由超低惯性无刷电机驱动，平稳、瞬时响应
先进的扫描电子设备能够检测透明，
半透明和不透明物体，无需在不同晶片尺寸之间进行机械重新定位
运动控制软件具有一套全面的常用功能
使用命令实现与各种半导体平台的兼容性和接口
典型的对齐周期时间小于四秒，有助于实现最大系统吞吐量