Logosol LPA26-3独立式晶圆预对准器

Logosol LPA26-3独立式晶圆预对准器

创新的高性能一体式设计消除了外部控制器和互连电缆，同时保持了插入式兼容性
由超低惯性无刷电机驱动，实现平稳、即时的响应
先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明物体，而无需在不同晶片尺寸之间进行机械重新定位
运动控制软件具有一套全面的常用命令，可与各种半导体平台兼容和接口
典型的对齐周期时间小于四秒，有助于实现最大系统吞吐量