Logosol LPA系列晶圆预对准器
创新、高性能、兼容1级
独特的一体化设计消除了外部控制器和互连电缆，同时保持了插入式兼容性
扫描电子设备、运动控制器和电源包含在行业标准占地面积内
由超低惯性无刷电机驱动，实现平稳、即时的响应
先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明物体，而无需在不同尺寸之间进行机械重新定位
与晶圆搬运机器人无缝对接，支持45mm至480mm的所有晶圆尺寸以及相应尺寸的方形基板
Logosol控制软件具有一套全面的命令，可与各种半导体平台兼容和接口
快速的对齐周期有助于实现最大的系统吞吐量
既可作为独立设备，也可作为与晶圆搬运机器人协同工作的嵌入式设备
保留选项包括真空、非真空和边缘处理
