Logosol diamond H5晶圆机器人、Logosol晶圆处理平台
Diamond H5系列真空机器人代表了晶圆处理设备设计和可靠性方面的重大工程进步。
得益于技术先进的组件，机器人利用超低惯性、高响应的无刷伺服电机，结合零间隙Harmonic Drive®齿轮，大大提高了灵活性和精度。
创新的一体化设计将运动控制器、伺服放大器和电源整合到机器人的行业标准足迹中。高强度结构构件能够安装在法兰的顶面或底面上，而不会影响系统刚度。可联网的RS-485和以太网接口补充了标准的RS-232和示教器连接。强大的原生晶圆处理和脚本语言有助于快速开发软件，将机器人嵌入OEM应用环境。
对传统机器人“宏”命令的全面仿真降低了与各种现有半导体工具的兼容性。
特点
模块化和高度可定制的设计
完全集成的运动控制器、伺服放大器和电源
高响应无刷电机和精确的零间隙
Harmonic Drive®齿轮
主机的标准RS-232接口和以太网（Telnet）接口
先进的32位实时运动控制内核
强大的晶圆处理固件
全面的软件工具和实用程序
传统机器人宏命令的软件仿真
可选示教器终端
通用数字输入和输出，供定制使用
可靠性——平均故障间隔时间>60000小时
