Logosol diamond H4晶圆机器人、Logosol晶圆处理平台
Diamond H4系列双臂大气机器人代表了晶圆处理设备设计和可靠性方面的重大工程进步。
连接到公共专利轴（T）的两个独立臂（R1和R2）允许快速交换或同时转移两个晶片。
得益于技术先进的组件，机器人利用超低惯性、高响应的无刷伺服电机，结合零间隙Harmonic Drive®齿轮，大大提高了灵活性和精度。
创新的一体化1级洁净室兼容设计将运动控制器、伺服放大器和电源整合到机器人的行业标准占地面积内。
高强度结构件可实现顶部、底部或侧面安装配置，而不会影响系统刚度。
32位实时内核可沿平滑连续轨迹提供精确的运动分析，而分布式控制架构允许与线性轨迹、预对准器和其他子组件无缝集成。
可联网的RS-485和以太网接口补充了标准的RS-232和示教器连接。强大的原生晶圆处理和脚本语言有助于快速开发软件，将机器人嵌入OEM应用环境。对传统机器人“宏”命令的全面仿真降低了与各种现有半导体工具的兼容性。
特点
优异的结构刚性
模块化和高度可定制的设计
臂长13.70“
垂直行程13“
完全集成的运动控制器、伺服放大器和
电源供应器
高响应无刷电机和精确的零间隙
Harmonic Drive®齿轮
可选的绝对编码器消除了初始归位
程序
处理径向和在线设备放置
与预对准器、线性轨道等无缝集成
外围组件
标准RS-232接口和以太网（Telnet）接口
到主机
高级32位实时运动控制内核
强大的晶圆处理固件
全面的软件工具和实用程序
传统机器人宏命令的软件仿真
可选示教器终端
通用数字输入和输出，供定制使用
1级洁净室环境兼容性
可靠性——MTBF>60000小时，（MCBF>10000000次循环）
