Logosol独立式边缘处理晶圆预对准器、Logosol晶圆预对准器LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE

150毫米晶片减接触式边缘处理预对准仪
对准能力：标准150毫米晶片
适用于150毫米平面、透明及半透明基板
接触区域：边缘接触，光斑宽度1毫米
减接触式边缘处理预对准仪可容忍更大的晶片初始偏移量（最大6毫米）

Logosol独立式边缘处理晶圆预对准器、Logosol晶圆预对准器LPA58-1E