Logosol独立式边缘处理晶圆预对准器、Logosol晶圆预对准器LPA58-1E
创新高效一体化设计
省去外部控制器与连接线缆
即插即用兼容现有系统
超低惯量无刷电机驱动
响应迅捷运行平稳
先进扫描电子系统可识别
透明/半透明/不透明材质
无需机械调整即适配多种晶圆尺寸
集成完备常用指令集的运动控制软件
兼容各类半导体平台接口
典型对准周期短于4秒
助力实现系统最大产能
| 晶圆直径 | 125毫米, 150毫米, 200毫米 |
|---|---|
| 晶圆透光度 | 透明/半透明/不透明 |
| 方形基板 | 支持 |
| 晶圆处理方式 | 真空吸盘 |
| 对中精度 | 预对准吸盘上±50微米 |
| 角度精度(3σ) | 预对准吸盘上±0.06° |
| 10000 CPR编码器 | 预对准吸盘上±0.04° |
| 24000 CPR编码器 | |
| 伺服轴数 | 单轴 |
| 主机通信 | RS232, 以太网 |
| 最大初始偏移量 | 10毫米 |
| 外形尺寸(宽×长×高) | 95×266×191毫米 |
| 兼容机型 | LPA25-1E, LPA38-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E |
| 重量 | 3.50公斤 |
| 所需设施 | 100-240V交流电,50/60Hz,48VA 或24V直流/2A 真空12英寸汞柱 |
| 平边/凹槽兼容性 | 符合SEMI标准 |
| 洁净等级 | Class 1级 |
| 平均无故障时间 | 超过70000小时 |
