Logosol独立式边缘处理晶圆预对准器、Logosol晶圆预对准器LPA1218-1E

Logosol独立式边缘处理晶圆预对准器、Logosol晶圆预对准器LPA1218-1E

创新性高性能一体化设计
无需外部控制器与连接线缆
即装即用兼容现有系统

采用超低惯量无刷电机驱动
响应迅捷平稳运行

先进扫描电子系统可检测
透明/半透明/不透明物体
无需机械调整即可适配不同尺寸晶片

运动控制软件配备全套常用指令
兼容多种半导体平台接口

典型对准周期小于4秒
助力实现系统最大吞吐量