Logosol独立式边缘处理晶圆预对准器、Logosol晶圆预对准器LPA58-1E
创新高效一体化设计
省去外部控制器与连接线缆
即插即用兼容现有系统
超低惯量无刷电机驱动
响应迅捷运行平稳
先进扫描电子系统可识别
透明/半透明/不透明材质
无需机械调整即适配多种晶圆尺寸
集成完备常用指令集的运动控制软件
兼容各类半导体平台接口
典型对准周期短于4秒
助力实现系统最大产能
| 晶圆直径 | 125毫米, 150毫米, 200毫米 |
|---|---|
| 晶圆透光度 | 透明/半透明/不透明 |
| 方形基板 | 支持 |
| 晶圆处理方式 | 真空吸盘 |
| 对中精度 | 预对准吸盘上±50微米 |
| 角度精度(3σ) | 预对准吸盘上±0.06° |
| 10000 CPR编码器 | 预对准吸盘上±0.04° |
| 24000 CPR编码器 | |
| 伺服轴数 | 单轴 |
| 主机通信 | RS232, 以太网 |
| 最大初始偏移量 | 10毫米 |
| 外形尺寸(宽×长×高) | 95×266×191毫米 |
| 兼容机型 | LPA25-1E, LPA38-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E |
| 重量 | 3.50公斤 |
| 所需设施 | 100-240V交流电,50/60Hz,48VA 或24V直流/2A 真空12英寸汞柱 |
| 平边/凹槽兼容性 | 符合SEMI标准 |
| 洁净等级 | Class 1级 |
| 平均无故障时间 | 超过70000小时 |
LPA312-1E-V40P1-S23-S
LPA1218-3-V76E2-S38-S-V500E
LPA1218-1E-V76E2-S38-S
LPA312-3-V40E2-S38-S-V500E
LPA312-1E-V40E1-S38-S
LPA38-3-V40P1-S23-B-V500P
hose filter 622000145
LPA812-3-V40P1-S23-S-V500P
LPA812-3-V76C1-S33-S-V500C-CTDSC08
LPA812-3-V76P1-S23-S-V500P
LPA312-3-V40P2-S23-B-V500P
LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P
LPA812-1E-V76P2-S23-B
LPA812EH-3-RETV1-S38-S-R820V-Y
LPA812EH-3-REHV1-S38-S-R820V-C
LS-173CM-2010
LPA68EH-3-REHV1-S38-S-R900V-LH58
LRC-431g3U controller
LPA812-3-V76P1-S23-B-V500P
LPA38-3-V40P1-S23-S-V500P
LPA812EH-3-REHV1-S38-S-R820V-X
LPA812-1E-V76P1-S23-S
LPA812-3-V40P1-S23-B-V500P
LPA812-3-V76P2-S23-B-V500P
LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V
LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P-CT06
BANK CHARGES
LS-182AP-1210
TecaPEEK ELS nano pin assembly size 0.5
40mm TecaPEEK ELS nano chuck kit
Peek pin assembly size 0.5
40mm Peek chuck kit
LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P
LPA38-3-V40E2-S23-S-V500P
LPA812-3-V76E2-S23-B-V500P-CCDF02
LPA38-1E-V40P1-S29-S
LPA312-3-V40P1-S23-S4-V500P-CTEVP04
LPA68EH-3-REHV1-S38-B-R900V-LH58
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