Logosol Inc,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE 边缘处理预对齐器, 晶圆预对准处理器,LPA系列 Logosol进口代理
Logosol LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE 边缘处理预对齐器
LPA6EH-3 Edge Handling Prealigner
- 150 mm 晶圆减接触边缘处理预对准器
- 对准能力:标准 150 mm 晶圆、150 mm 平面、透明和半透明基板。
- 接触区域:边缘接触,接触点宽度为 1 mm。
- 减接触边缘处理预对准器 可容忍更大的初始晶圆偏移(最多 6 mm)。
Logosol LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE 边缘处理预对准器规格参数:
Logosol LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE 边缘处理预对准器尺寸:
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