Logosol Inc，LPA26-3 , 独立预对准器， 晶圆预对准处理器,LPA系列 Logosol进口代理
Logosol Inc，LPA26-3 ,独立预对准器 ,LPA系列
LPA26-3 Standalone Prealigner
Logosol Inc，LPA26-3 , 晶圆预对准处理器特点：
- 创新、高性能、一体化设计，无需外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性。
- 由超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、即时响应。
- 先进的扫描电子技术，能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。
- 运动控制软件 具有一套全面的常用命令，可实现与各种半导体平台的兼容和接口。
- 典型对准周期时间少于 4 秒，有助于实现最大系统吞吐量。
Logosol LPA26-3 晶圆预对准处理器规格参数：
Logosol LPA26-3 晶圆预对准处理器图纸及尺寸：
