美国Logosol,LPA6EH-3, 边缘处理预对准仪,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE, 用于 150mm 晶圆的预对准器
LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE
对准能力：标准 150 毫米晶圆 150 毫米平面、透明和半透明基板
接触区：光斑宽度为 1mm 的边缘触点
减少接触边缘处理预对准器可容忍交付晶圆的较大初始偏移（最大 6mm）
规格:
美国Logosol,LPA6EH-3, 边缘处理预对准仪,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE, 用于 150mm 晶圆的预对准器
LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE
对准能力：标准 150 毫米晶圆 150 毫米平面、透明和半透明基板
接触区：光斑宽度为 1mm 的边缘触点
减少接触边缘处理预对准器可容忍交付晶圆的较大初始偏移（最大 6mm）
规格:
