美国Logosol, LPA8EH-3 边缘处理预对准仪,用于 200mm 晶圆的预对准器

美国Logosol, LPA8EH-3 边缘处理预对准仪,用于 200mm 晶圆的预对准器

LPA8EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE

减少接触边缘处理 用于 200mm 晶圆的预对准器

对准能力：标准 200 毫米晶圆 200 毫米平面、透明和半透明基板

接触区：光斑宽度为 1mm 的边缘触点

减少接触边缘处理预对准器可容忍交付晶圆的较大初始偏移（最大 6mm）