美国Logosol, LPA812EH-3 边缘处理预对准仪,LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C(X,Y)
边缘处理预对准器，适用于两种晶圆尺寸，减少的边缘接触区域小于 1 毫米，以及 3 种不同的引脚配置。
C（交叉）配置：为晶圆提供最均匀的支撑，并从三个侧面平等访问。
X 型配置：为超过 6 英寸宽的末端执行器提供空间，并从两侧平等进入
Y 型配置：提供与晶圆的最小物理接触（卡盘和引脚上只有 3 个点）和两侧的平等访问
接口入口：侧面（可选底部）
美国Logosol, LPA812EH-3 边缘处理预对准仪,LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C(X,Y)
边缘处理预对准器，适用于两种晶圆尺寸，减少的边缘接触区域小于 1 毫米，以及 3 种不同的引脚配置。
C（交叉）配置：为晶圆提供最均匀的支撑，并从三个侧面平等访问。
X 型配置：为超过 6 英寸宽的末端执行器提供空间，并从两侧平等进入
Y 型配置：提供与晶圆的最小物理接触（卡盘和引脚上只有 3 个点）和两侧的平等访问
接口入口：侧面（可选底部）
