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美国Logosol, LPA68EH-3 边缘处理预对准仪,LPA68EH-3-REHV1-S38-S(B)-R900V-NE-LH58,标准 150 和 200 mm 晶圆透明

美国Logosol, LPA68EH-3 边缘处理预对准仪,LPA68EH-3-REHV1-S38-S(B)-R900V-NE-LH58

减少接触边缘处理的预对准器，适用于两种晶圆尺寸，边缘接触区域小于 1mm

对准能力：标准 150 和 200 mm 晶圆透明和半透明基板

本体：LPA58

接口入口：侧面（可选底部）


LPA68EH-3 边缘处理预对准仪 LPA68EH-3-REHV1-S38-S(B)-R900V-NE-LH58 标准 150 和 200 mm 晶圆透明 美国Logosol

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