美国Logosol, LPA12ET-3 边缘处理预对准仪,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),用于 300mm 晶圆的边缘处理预对准器
对准能力：标准 300mm 晶圆 300mm TAIKO 晶圆接触区：光斑宽度为 1mm 的边缘接触
标准配置：为晶圆 C（交叉）配置提供最均匀的支撑：为更厚的末端执行器提供空间，并从三个侧面提供相等的通道与上一代边缘处理预对准器（最大 6 毫米）相比，两种配置都能容忍交付晶圆的更大初始偏移
美国Logosol, LPA12ET-3 边缘处理预对准仪,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),用于 300mm 晶圆的边缘处理预对准器
对准能力：标准 300mm 晶圆 300mm TAIKO 晶圆接触区：光斑宽度为 1mm 的边缘接触
标准配置：为晶圆 C（交叉）配置提供最均匀的支撑：为更厚的末端执行器提供空间，并从三个侧面提供相等的通道与上一代边缘处理预对准器（最大 6 毫米）相比，两种配置都能容忍交付晶圆的更大初始偏移
