美国Logosol, 金刚石H3晶圆搬运机器人,Diamond H3 系列大气机器人
钻石H3系列大气机器人在晶圆处理设备的设计和可靠性方面代表了一个重要的工程进步。
依赖于技术上优越的组件，这些机器人利用超低惯性、高响应的无刷伺服电机，结合零反向间隙的谐波驱动®齿轮，达到了极大增强的灵活性和精确度。
这种创新的、全合一的1级洁净室兼容设计将运动控制器、伺服放大器和电源集成在机器人行业标准的占地面积内。
高强度的结构部件使得顶部、底部或侧面安装配置成为可能，同时不会影响系统的刚性。
一个32位的实时内核提供准确的运动轮廓沿着平滑的连续轨迹，而分布式控制架构允许与线性轨道、预对准器和其他子组件的无缝集成。
可网络连接的RS-485和以太网接口补充了标准的RS-232和教学挂件连接。强大的本地晶圆处理和脚本语言促进了快速软件开发，以嵌入机器人进入OEM应用环境。
对遗留机器人“宏”命令的全面仿真提供与各种现有半导体工具的即插即用兼容性。
特点：优秀的结构刚性模块化和高度
可定制的设计臂长从10.50英寸到24.00英寸垂直行程可达21英寸完全集成的运动控制器、伺服放大器和电源高响应的无刷电机和精确的零反冲谐波驱动®齿轮可选的绝对编码器，消除初始归位程序处理径向和直线设备放置与预对准器、线性轨道和其他外设组件的无缝集成标准RS-232接口和以太网（Telnet）接口与主计算机的连接先进的32位实时运动控制内核强大的晶圆处理固件全面的软件工具和实用程序软件仿真老旧机器人宏命令可选的教学手持终端通用数字输入和输出用于自定义使用符合1级洁净室环境可靠性 – 平均无故障时间大于60,000小时（平均循环寿命大于10,000,000次）
