美国Logosol, 独立晶圆预对准器,LPA58-3,硅片直径:125mm/150mm/200mm

美国Logosol, 独立晶圆预对准器,LPA58-3,

创新的高性能一体化设计消除了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性。采用超低惯量无刷电机驱动，确保平稳、即时的响应。

先进的扫描电子设备能够在不同晶圆尺寸之间无机械重新定位的情况下，检测透明、半透明和不透明物体。

运动控制软件具有全面的常用命令集，能够与多种半导体平台兼容和接口。

典型的对准周期时间少于四秒，促进了最大系统吞吐量的实现。