美国Logosol, 嵌入式晶圆预对准器,LPA812-1E

美国Logosol, 嵌入式晶圆预对准器,LPA812-1E

LPA58-1E

创新的高性能一体化设计，消除了外部控制器和连接线，同时保持了即插即用的兼容性。

由超低惯量无刷电机驱动，实现平滑、即时的响应。先进的扫描电子设备能够在不同晶圆尺寸之间检测透明、半透明和不透明物体，而无需机械重定位。

运动控制软件具备一整套常用命令，确保与多种半导体平台的兼容性和接口。典型的对准周期时间少于四秒，有助于实现最大系统吞吐量。